[30p-A1-1~5] 3.3 機器・デバイス光学

[30p-A1-5] モデルを変更したRCWA法によるサブ波長周期構造の表面反射率算出 (2:00 PM ～ 2:15 PM)

^○水谷彰夫，亀田信治，菊田久雄 (阪府大工)

キーワード：RCWA