[30p-G6-1~6] 13.4 配線技術

[30p-G6-4] MOCVD用新規コバルトアミジネート原料 (2:15 PM ～ 2:30 PM)

^○町田英明¹，石川真人¹，須藤弘¹，岩井和俊²，河野有美子² (気相成長¹，東京エレクトロン²)

キーワード：コバルト、CVD