出展者情報

[At-8] AOV(株)

■グローブボックス内収納/接続型蒸着装置
■蒸着用基板加熱機構（赤外線ランプ、赤外線レーザ、ＳｉＣ、白金、グラファイト、シース式等）
■複合型PLD/MBE蒸着装置
■多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置