2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

出展者情報

[Aa-16] 神津精機(株)

■高精度形状測定システムDyvoce(ダイボス)~半導体ウエハの反りをはじめとする形状を簡単・高精度測定~非接触型の形状測定システムDyvoce(ダイボス)は、生成した2D/3DモデルからSEMI_STANDARDのSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。お客様の仕様に合わせたカスタマイズも可能です。
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