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シンポジウム(口頭講演)

08．プラズマエレクトロニクス » プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

[18a-S1-1~4] プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演

2014年9月18日(木) 09:15 〜 11:30 S1 (S1)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

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09:15 〜 09:45

[18a-S1-1] 「プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演」（30分）
プラズマCVD中グラフェンナノリボンの合成機構

^○加藤俊顕，鈴木弘朗，畠山力三，金子俊郎 (東北大院工)

09:45 〜 10:15

[18a-S1-2] 「プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演」（30分）
フルオロカーボンプラズマによるSiO₂/Siホールエッチングの際に引き起こされるダメージ分布のモデリングとシミュレーション

^○久保井信行，辰巳哲也，小林正治，木下隆，小町潤，深沢正永，安斎久浩 (ソニー)

休憩10:15～10:30 (10:15 〜 10:30)

10:30 〜 11:00

[18a-S1-3] 「8．プラズマエレクトロニクス　分科内招待講演」（30分）
ナノ・微粒子材料のプラズマプロセスとその場観測

^○林康明 (京都工繊大院工芸科学)

11:00 〜 11:30

[18a-S1-4] 「8．プラズマエレクトロニクス　分科内招待講演」（30分）
プラズマ科学技術の医療・バイオ応用に関する研究に携わって

^○永津雅章 (静大創造科技院)