[19p-B1-1~9] 17.2 構造制御・プロセス

2014年9月19日(金) 13:15 〜 15:30 B1 (セミナー１)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

13:15 〜 13:30

[19p-B1-1] ビア内カーボンナノチューブ選択成長のためのCMPプロセス開発

^○伊東伴，和田真，斎藤達朗，西出大亮，松本貴士，片桐雅之，渡邉勝仁，佐久間尚志，梶田明広，酒井忠司 (超低電圧デバイス技術研究組合)

13:30 〜 13:45

^○横井裕之^1,2，畠山一翔^1,2，谷口貴章^1,2，鯉沼陸央^1,2，松本泰道^1,2 (熊本大院自然¹，CREST²)

13:45 〜 14:00

^○村上俊也¹，磯崎哲¹，松田充晃¹，木曽田賢治²，伊東千尋¹ (和大シス工¹，和大教育²)

14:00 〜 14:15

^○本郷知紀¹，小路紘史¹，呉準席^1,2，古田寛^1,2，八田章光^1,2 (高知工科大シス工¹，高知工科大総研ナノC²)

14:15 〜 14:30

^○斎藤崇広，石川真二，桑原一也 (住友電工)

14:30 〜 14:45

^○河合英輝，長谷川凱，柳和宏 (首都大)

14:45 〜 15:00

^○蓬田陽平，都築真由美，魏小均，平野篤，藤井俊治郎，田中丈士，片浦弘道 (産総研)

15:00 〜 15:15

^○魏小均，都築真由美，平川琢也，蓬田陽平，平野篤，藤井俊治郎，田中丈士，片浦弘道 (産総研ナノシス)

15:15 〜 15:30

^○大淵真理 (富士通研)