[19p-PA3-1~4] 7.6 イオンビーム一般

2014年9月19日(金) 13:30 〜 15:30 PA3 (第1体育館)

ポスター掲示時間13:30～15:30(PA3会場)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

13:30 〜 15:30

[19p-PA3-1] XPSによるアルゴンガスクラスターイオンビームを照射したSi基板表面の損傷評価(2)

^○三井所亜子，高橋真，稲葉雅之，三宅修吾 (コベルコ科研)

13:30 〜 15:30

^○花園勝巳，登木口克己，潟岡泉 (オーエスアイ)

13:30 〜 15:30

^○加田渉¹，横山彰人²，江夏昌志²，山田尚人²，佐藤隆博²，神谷富裕² (群馬大¹，原子力機構²)

13:30 〜 15:30

^○平岡陽祐，岡部晋宜，Golap Kalita，種村眞幸 (名工大院工)