[17a-A10-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17a-A10-8] 非化学量論組成SrTiO₃薄膜における欠陥構造の製膜条件依存性

^○小林俊介^1,2，加藤丈晴¹，平山司¹，幾原雄一^1,3，山本剛久^1,2,4 (ファインセラミックスセンター¹，東大新領域²，東大総研³，名大工⁴)

キーワード：SrTiO3,薄膜,走査型透過電子顕微鏡