[17a-A14-1~12] 7.3 リソグラフィ

[17a-A14-1] 「7．ビーム応用　分科内招待講演」（30分）
DSAリソグラフィによるサブ10 nmパターニング

^○東司¹，清野由里子¹，佐藤寛暢¹，笠原佑介¹，小林克稔¹，小寺克昌¹，金井秀樹¹，木原尚子¹，川門前善洋¹，早川晃鏡² (EIDEC¹，東工大院理工²)

キーワード：DSA,リソグラフィ,サブ10 nm