[17a-A14-1~12] 7.3 リソグラフィ

[17a-A14-2] フラーレン添加ポジ型電子線レジストの現像特性及びパターン形状評価

^○池田紳悟¹，東幸浩¹，浅田裕法¹，星野亮一² (山口大院理工¹，グルーオンラボ²)

キーワード：電子線レジスト,ポジ型レジスト