[17a-A14-1~12] 7.3 リソグラフィ

[17a-A14-4] 環状オリゴマーに基づいた化学増幅型分子レジストのレジスト性能評価に関する研究

^○山本洋揮¹，工藤宏人²，古澤孝弘¹ (阪大産研¹，関西大²)

キーワード：化学増幅型レジスト,分子レジスト,電子ビーム