[17a-A17-1~13] 15.6 IV族系化合物

[17a-A17-1] 二次元核形成理論を用いたSiC昇華法成長における多形安定性の非定常解析

^○（M2）荒木清道¹，高冰²，中野智²，西澤伸一³，柿本浩一^1,2 (九大院工¹，九大応力研²，産総研³)

キーワード：SiC