[17a-A17-1~13] 15.6 IV族系化合物

[17a-A17-10] 150mmφ4H-SiC C面エピ成長におけるキャリア濃度分布向上

^○西尾譲司^1,2，浅水啓州^1,3，工藤千秋^1,4，伊藤佐千子⁵，升本恵子^1,5，田村謙太郎^1,3，児島一聡^1,5，大野俊之^1,6 (FUPET¹，東芝²，ローム³，パナソニック⁴，産総研⁵，日立⁶)

キーワード：SiC,epitaxy,均一性