[17a-A17-1~13] 15.6 IV族系化合物

[17a-A17-13] レーザーアブレーション法によるAlN/Si上へのSiCヘテロエピタキシャル成長

^○目黒一熙，成田次理，上村駿洋，中澤日出樹 (弘前大院理工)

キーワード：ヘテロエピタキシー,モノメチルシラン,窒化アルミニウム