2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[17a-A17-1~13] 15.6 IV族系化合物

2014年9月17日(水) 09:00 〜 12:30 A17 (E308)

09:30 〜 09:45

[17a-A17-3] The investigation of step structure with different TSDs conversion behavior during 4H-SiC solution growth

肖世玉,原奈津美,原田俊太,宇治原徹 (名大)

キーワード:SiC