[17a-A17-1~13] 15.6 IV族系化合物

[17a-A17-5] 溶液法成長４Ｈ－ＳｉＣ基板上へのエピタキシャル成長

^○関章憲，旦野克典，大黒寛典，白井崇幸，佐藤和明，別所毅 (トヨタ自動車)

キーワード：半導体,ＳｉＣ