[17a-A17-1~13] 15.6 IV族系化合物

[17a-A17-7] 溶液法基板上4H-SiCエピタキシャル成長層における遷移金属の評価

^○旦野克典¹，関章憲¹，齋藤信¹，白井嵩幸¹，鈴木寛¹，坂元秀光¹，佐藤和明¹，別所毅¹，木本恒暢² (トヨタ自動車¹，京大工²)

キーワード：SiC,拡散