[17a-A20-1~5] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

△ [17a-A20-2] 単一磁束量子回路に向けたNbTiN薄膜の磁場侵入長の検討

^○坂本隼也，宗本健太郎，赤池宏之，藤巻朗 (名大工院)

キーワード：NbTiN,磁場侵入長,SFQ回路