[17a-A8-1~7] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-A8-1] 球型共振器構造MPCVDを用いたダイヤモンド(100)膜のホモエピタキシャル高速成長

^○渡邊俊介¹，森本隆介¹，金田大輝¹，徳田規夫^1,2,3，加藤宙光^2,3，梅沢仁^2,3，山崎聡^2,3，有屋田修⁴，猪熊孝夫¹ (金沢大院自然¹，産総研²，JST,CREST³，アリオス⁴)

キーワード：ダイヤモンド,高速成長,MPCVD