[17a-A8-1~7] 6.2 カーボン系薄膜

△ [17a-A8-4] 先端放電型プラズマCVDを用いた3C-SiC(001) / Si(001)ウェハ上への高配向ダイヤモンド薄膜合成

^○矢板潤也^1,2，岩崎孝之^1,2,3，Meralys Natal⁴，Stephen Saddow⁴，波多野睦子^1,2,3 (東工大¹，CREST²，ALCA³，南フロリダ大⁴)

キーワード：ダイヤモンド