[17a-C6-1~6] 3.13 半導体光デバイス

[17a-C6-2] トライオード型PECVD及び低温製膜による高品質a-SiO:H膜の開発

^○山本陸¹，Porponth Sichanugrist¹，小長井誠^1,2 (東工大院理工¹，太陽光発電システム研²)

キーワード：a-SiO,トライオード,太陽電池