[17a-C6-1~6] 3.13 半導体光デバイス

[17a-C6-6] N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるランダムダブルテクスチャの形成

^○熊田竜也¹，川合健太郎¹，大谷真輝¹，平野利典¹，永井隆文²，足達健二²，有馬健太¹，森田瑞穂¹ (阪大¹，ダイキン工業²)

キーワード：結晶シリコン系太陽電池,テクスチャ,逆ピラミッド