[17a-PA1-1~14] 12.2 評価・基礎物性

[17a-PA1-14] 化成処理で形成したアルミニウム箔上のAl₂O₃膜の結晶解析技術

^○野口博司，岩堀禎浩，吉野幸子，田村昌望 (村田製作所)

キーワード：結晶欠陥,化成処理,アルミニウム箔