[17a-PB1-1~8] 8.1 プラズマ生成・制御

[17a-PB1-3] VHF-DC重畳マグネトロンスパッタ装置の特性評価

^○福岡侑士¹，福井崇史¹，高田昇治²，笹井建典¹，豊田浩孝^1,3 (名大工¹，名大技術部²，名大プラズマナノ工学研究センター³)

キーワード：マグネトロンスパッタリング