[17a-PB2-1~18] 8.6 プラズマ現象・新応用・融合分野

[17a-PB2-2] 水素ラジカルによる遷移金属の選択加熱とそのデバイス応用

^○上村和貴¹，荒井哲司¹，有元圭介¹，山中淳二¹，佐藤哲也¹，中川清和¹，高松利行²，澤野憲太郎³ (山梨大¹，SST²，東京都市大³)

キーワード：水素ラジカル,水素プラズマ加熱,薄膜トランジスタ