09:30 〜 11:30
[17a-PB4-10] 非平衡プラズマジェットCVDを用いた微結晶シリコン膜(μc-Si)の高速成膜
キーワード：微結晶シリコン,高速成膜,プラズマ
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
16．非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池
[17a-PB4-1~21] 16.3 シリコン系太陽電池
2014年9月17日(水) 09:30 〜 11:30 PB4 (第2体育館)
ポスター掲示時間9:30～11:30(PB4会場)
一般セッション(ポスター講演)
16．非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池
2014年9月17日(水) 09:30 〜 11:30 PB4 (第2体育館)
ポスター掲示時間9:30～11:30(PB4会場)
09:30 〜 11:30
キーワード：微結晶シリコン,高速成膜,プラズマ