PDF ダウンロード スケジュール 8 いいね! 0 09:30 〜 11:30 [17a-PB4-12] 選択的Si酸化を用いたc-Si/a-Siヘテロ接合界面における漏れ電流抑制技術の開発 ○三和寛之,西田哲,牟田浩司,野々村修一,栗林志頭眞 (岐阜大院工) キーワード:ヘテロ接合,酸化,結晶シリコン