PDF ダウンロード スケジュール 8 いいね! 0 09:30 〜 11:30 [17a-PB4-13] 導電性AFMによるヘテロ接合部のリーク電流測定時の雰囲気温度および圧力による影響 ○武藤芳樹,西田哲,吉田憲充,栗林志頭眞,野々村修一 (岐大院工) キーワード:ヘテロ接合,結晶シリコン,AFM