[17a-PB4-1~21] 16.3 シリコン系太陽電池

[17a-PB4-4] SiN_x/Si構造の電気特性におけるファイヤースルー処理の影響

^○榎本裕也¹，高柳暢¹，吉田晴彦^1,3，新船幸二^1,3，小椋厚志^2,3，佐藤真一^1,3 (兵庫県立大¹，明治大²，JST-CREST³)

キーワード：太陽電池,SiNx,ファイヤースルー