2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.プラズマエレクトロニクス 英語セッション

[17a-S10-1~11] 8.プラズマエレクトロニクス 英語セッション

2014年9月17日(水) 09:00 〜 12:00 S10 (S10)

09:00 〜 09:15

[17a-S10-1] A first attempt to measure the lifetime of S atom in magnetron sputtering plasma employing a CuZnSnS target

Nayan Nafarizal1,2, Koichi Sasaki1 (Hokkaido University1, Universiti Tun Hussein Onn Malaysia2)

キーワード:CZTS thin film,magnetron sputtering plasma,vacuum ultraviolet absorption spectroscopy