11:00 〜 11:15
▲ [17a-S10-8] A Metallic Complex Reaction Etching of Transition Metal by Low-temperature and Damage-free Neutral Beam Process (II)
キーワード:中性粒子ビームエッチング,金属錯体化反応
一般セッション(口頭講演)
08.プラズマエレクトロニクス » 8.プラズマエレクトロニクス 英語セッション
2014年9月17日(水) 09:00 〜 12:00 S10 (S10)
11:00 〜 11:15
キーワード:中性粒子ビームエッチング,金属錯体化反応