[17a-S9-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[17a-S9-3] シリコン表面におけるフェムト秒レーザーサブミクロン加工における加工閾値に及ぼす対リップル形成の影響

菅原諒，曽根有紀，関口翔大，石堤敬太，^○八木隆志 (東海大理)

キーワード：Submicron meter macining,femto-second laser,ripple