2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17p-A10-1~17] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2014年9月17日(水) 13:15 〜 17:45 A10 (E214)

13:15 〜 13:30

[17p-A10-1] TiOx薄膜の合成と物性

吉松公平1,大島孝仁1,大友明1,2 (東工大院理工1,元素戦略2)

キーワード:酸化物薄膜,パルスレーザー堆積法