[17p-A10-1~17] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [17p-A10-8] 反応性スパッタ法によるn型、並びにp型SnOx薄膜の作製

^○米川早紀¹，賈軍軍²，Gloess Daniel¹，重里有三¹ (青学大理工¹，フラウンホーファ研²)

キーワード：反応性スパッタ法