[17p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[17p-A11-12] AlO_x/Si 前駆体のポストアニール処理によるAlO_x/SiO_x 構造の作製

^○（M1）三宅省三¹，豊嶋祐樹¹，堀田育志^1,3，吉田晴彦^1,3，新船幸二^1,3，小椋厚志^2,3，佐藤真一^1,3 (兵庫県立大¹，明治大²，JST-CREST³)

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