[17p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[17p-A11-14] スパッタ法によるウルツ鉱型(Al,Ti)Nのサーミスタ薄膜の作製

^○長友憲昭，稲場均，田中寛，藤田利晃，竹島一太，松本文夫，山口邦生 (三菱マテリアル)

キーワード：窒化物,thermistor