[17p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[17p-A11-17] スパッタ法による10¹²/平方インチ級 高密度Auナノ粒子の形成と粒子の規則配列性の向上

^○安川雪子¹，劉小晰²，森迫昭光² (千葉工大工¹，信大工²)

キーワード：金ナノ粒子,自己組織化