[17p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[17p-A11-6] フレームデポジション法により合成した酸化エルビウム膜の堆積速度と気孔率

^○白井友之¹，中村淳^1,2，大塩茂夫¹，戸田育民¹，小松啓志¹，齋藤秀俊¹ (長岡技科大¹，中部キレスト²)

キーワード：EDTA,フレームデポジション法,酸化エルビウム