[17p-A11-1~17] 6.4 薄膜新材料

[17p-A11-9] スパッタ法により形成したPr酸化膜の構造評価

^○原健太¹，熊谷健大¹，原口祐太郎¹，鈴木摂²，石橋啓次²，山本康博¹ (法政大¹，コメット²)

キーワード：半導体