[17p-A14-1~12] 界面ナノ電子化学： 半導体ウェットプロセスの最前線

[17p-A14-11] SiO₂の固体壁面近傍における水およびアルコールの挙動の分子動力学解析

^○中岡聡¹，山口康隆¹，川上雅之²，矢野大作²，山中弘次² (阪大工¹，オルガノ²)

キーワード：molecular dynamics