[17p-A14-1~12] 界面ナノ電子化学： 半導体ウェットプロセスの最前線

[17p-A14-2] III-V族化合物半導体の電気化学エッチングと微細加工への応用（30分）

^○佐藤威友，熊崎祐介，渡部晃生，谷田部然治 (北大量集セ)

キーワード：半導体ナノ構造,多孔質構造,電気化学エッチング