[17p-A16-1~14] 13.4 デバイス／集積化技術

△ [17p-A16-11] ナノ粒子埋込V溝型Junction-less FETの作製と評価

^○（D）番貴彦¹，上沼睦典¹，右田真司²，石河泰明¹，山下一郎¹，浦岡行治¹ (奈良先端大¹，産総研²)

キーワード：junctionless-FET