[17p-A19-1~12] 絶縁膜上におけるⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長－新しい結晶成長技術への期待－

[17p-A19-1] 新しいⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長技術への期待

^○佐道泰造 (九大システム情報)

キーワード：半導体