2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

分科企画シンポジウム » 絶縁膜上におけるⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長-新しい結晶成長技術への期待-

[17p-A19-1~12] 絶縁膜上におけるⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長-新しい結晶成長技術への期待-

2014年9月17日(水) 13:15 〜 17:45 A19 (E311)

17:00 〜 17:15

[17p-A19-10] 非晶質Ge/SiO2のAu誘起横方向成長に及ぼす電子線照射効果

○(B)茂藤健太1,崎山晋1,岡本隼人1,酒井崇嗣1,中嶋一敬1,原英之2,西村浩人2,高倉健一郎1,角田功1 (熊本高専1,ブルカーバイオスピン2)

キーワード:金属誘起成長,低温形成,ゲルマニウム