[17p-A19-1~12] 絶縁膜上におけるⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長－新しい結晶成長技術への期待－

[17p-A19-3] 大気圧熱プラズマ結晶化および単結晶薄膜転写によるガラスおよびプラスティック上の高性能薄膜トランジスタ作製（30分）

^○東清一郎^1,2，林将平¹，森崎誠司¹，赤澤宗樹¹，酒池耕平¹ (広大院先端研¹，広大ナノデバイス²)

キーワード：結晶化,TFT,プラズマ