2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

分科企画シンポジウム » 絶縁膜上におけるⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長-新しい結晶成長技術への期待-

[17p-A19-1~12] 絶縁膜上におけるⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長-新しい結晶成長技術への期待-

2014年9月17日(水) 13:15 〜 17:45 A19 (E311)

16:30 〜 16:45

[17p-A19-8] Al誘起層交換成長の物理 ~Siの面方位制御を目指して~

黒澤昌志1,2,佐道泰造1,宮尾正信1 (九大院シス情1,学振PD2)

キーワード:Al-induced crystallization,AIC