16:30 〜 16:45
[17p-A19-8] Al誘起層交換成長の物理 ~Siの面方位制御を目指して~
キーワード:Al-induced crystallization,AIC
シンポジウム(口頭講演)
分科企画シンポジウム » 絶縁膜上におけるⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長-新しい結晶成長技術への期待-
2014年9月17日(水) 13:15 〜 17:45 A19 (E311)
16:30 〜 16:45
キーワード:Al-induced crystallization,AIC