[17p-A23-1~8] 1.3 新技術・複合新領域

[17p-A23-5] MOD法により異なる基板上に作製したVO_x薄膜の特性比較(Ⅱ)

^○内田貴司，松下亮仁，立木隆 (防衛大電気電子)

キーワード：有機金属分解法