2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17.ナノカーボン » 17.2 構造制御・プロセス

[17p-B1-4~15] 17.2 構造制御・プロセス

2014年9月17日(水) 14:00 〜 17:15 B1 (セミナー1)

14:00 〜 14:15

[17p-B1-4] デバイス化プロセスにおけるSiC上グラフェン電子物性変調

有月琢哉,奥村俊夫,呉龍錫,中島健志,小林慶祐,永瀬雅夫 (徳島大工)

キーワード:グラフェン,洗浄