[17p-B1-4~15] 17.2 構造制御・プロセス

[17p-B1-8] VUV/O3エッチングによる酸化グラフェンのマイクロパターニング

^○（M2）屠宇迪¹，Om Prakash Khatri²，一井崇¹，宇都宮徹¹，杉村博之¹ (京大院工¹，IIP²)

キーワード：Graphene,真空紫外光,微細加工