[17p-C7-1~15] 3.2 材料・機器光学

[17p-C7-3] 波長～サブ波長構造付き曲面素子作製のための平面素子曲面化技術Ⅰ

^○松井繁¹，青野宇紀²，江畠佳定¹，八重樫健太¹ (日立ハイテク¹，日立日研²)

キーワード：曲面素子,サブ波長構造,塑性変形